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据韩国媒体The Elec 2月20日报导,SK海力士当月在DRAM晶圆生产环节中遭受一起加工工艺安全事故,主要原因是SK trichem的锆(Zr)基高K材料(又称为前驱体)存有产品质量问题。受其影响,数台SK海力士有关生产制造设备暂时中止运行

消息人士称,事情原因是通过供应商SK Trichem所提供的锆 (Zr) 高k材料里面含有残渣,这就导致SK海力士则在DRAM工厂的一部分生产制造设备停止运行。因为晶圆制造的独特性,因而可能导致一段时间内生产线设备和材料里的附加损害。

SK海力士表明,生产线内部结构马上展开了清理步骤,所以其生产制造导出并没有受到侵害。但是,SK海力士表明已经核查同时要求SK Trichem担负因设备关机和维修部件而带来的损失。与此同时,SK海力士都将终止从SK Trichem购置材料,直至难题及时解决。

对于此事,SK Trichem 解释说,一些问题生产线设备材料购置早已降低,企业计划从本月底逐渐给予品质更高的。该企业认可表明:“供应给SK海力士的材料纯净度存在的问题,这就导致环节中一些设备压力提升,造成(设备)停止运行。”该企业补充道,SK Trichem依然在供应用以同一生产流水线别的设备的材料。

Zr high-k材料是一种前驱体,它是以弹性散射附着在DRAM电容器顶端。因为电力电容器直接关系到DRAM性能,因而高k材料的品质也非常重要。此外,外部预计UP Chemical和M Chemical将临时取代SK Trichem供应SK海力士所需要的高k材料。

据了解,SK Trichem是SK公司的材料关联企业,由SK Materials与日本三化学研究所(TCLC)合资企业创立。2021年,SK Materials的控投业务部被人体吸收划入SK,变成SK的分公司。SK 公司的股权比例为65%,TCLC的股权比例为35%。

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